公司介绍

瑞士精工,全球信赖 — 微纳光刻工艺设备的领导者

🎯 我们的使命

我们始终专注于为客户提供高品质设备,同时保持具有吸引力的价格。追求卓越的产品品质,是我们一切工作的核心。

🔭 我们的愿景

我们的目标是在所选细分市场中占据领先的市场地位,并为我们所服务的行业树立技术标准。

涂层质量 — 各参数完美配合

为确保高水平的工艺可靠性,我们的产品与既定工艺参数、所选基板及光刻胶之间必须完美协调。

此外,工艺环境对工艺质量有极大影响,因此环境温度、排风和送风(层流)以及所有技术连接(N₂、压缩空气等)都必须进行最优设计。

🎉 三十年创新历程 (1996-2026)

从瑞士萨克斯的一间工作室,到服务全球33个国家的行业领导者——SAWATEC三十年如一日,专注涂胶显影技术的极致追求

1996

SAWATEC AG 成立。第一款成功产品是旋涂机与加热板的组合系统。

1996年首台产品
1998

扩展产品线,推出用于数据存储系统的计量泵和计量阀。

计量泵
2000

进入CD行业,开发专用计量系统、缓冲罐和超低流量精密泵。

CD行业产品
2001

研发并推出面向半导体和手机3D传感器技术的喷涂机。光学解决方案市场领导者已成功使用SAWATEC喷涂机进行多年的批量生产。

2006

研发并推出面向半导体行业的喷雾显影机。

喷雾显影机
2007

研发出首台 SCS-4 型集群系统。

集群系统
2008

开发首款SAWATEC台式安装模块,可集成到湿法工作台或其他系统中。

台式模块
2010

迁至瑞士新址,即现在的公司总部。

瑞士总部
2015

在中国成立首个海外分支机构。SAWATEC 借此更便捷地进入大中华区的增长市场,并加强区域客户亲密度。

中国分公司
2017

首台 CS-200-4 sirius 集群系统交付给中国某研究机构。

CS-200-4
2019

推出配备6轴 ROBO 模块的柔性系统。

ROBO系统
2020

随着一台 HP-600 的交付,SAWATEC 在全球市场的已安装设备数量突破 1000 台。

1000台里程碑
2021

SAWATEC 成立25周年——四分之一世纪的专注与创新,团队书写的一段成功故事。

25周年
2024

全球装机量突破 1500台。产品足迹遍布33个国家,从MIT林肯实验室到清华大学,从蔡司半导体到罗氏制药——SAWATEC设备活跃在全球最前沿的科研与制造现场。

2026

🎉 SAWATEC 三十周年

三十年磨一剑。从1996年瑞士萨克斯一间小工厂起步,到今天服务全球33个国家、1500+台装机——SAWATEC始终只做一件事:把涂胶显影设备做到极致。

在这个追逐规模和速度的年代,SAWATEC选择了另一条路:精准、可靠、持久。正如我们的客户所说——"像瑞士钟表一样可靠。"

感谢每一位客户、合作伙伴和团队成员,与我们同行三十年。下一个三十年,我们继续。

合作伙伴与会员资格

我们的创新能力和问题解决能力因领先的研究机构和技术大学的合作而得到增强

研发合作伙伴

🔬 瑞士东部应用科学大学

微技术与光子学研究所 (IMP)
www.ost.ch

🔬 弗劳恩霍夫研究所

开姆尼茨电子纳米系统研究所 (ENAS)
www.enas.fraunhofer.de

🧪 中国科学院苏州纳米所

纳米加工中心
english.sinano.cas.cn

🧪 上海大学 (SHU-FPD)

教育部先进显示与系统应用重点实验室
fpd.shu.edu.cn

行业会员

SEMI 企业会员

www.semi.org

全球客户信赖

覆盖33个国家,超过1500台设备装机

1500+
全球装机量
33
覆盖国家
30
年专业历史
26
设备型号
Carl Zeiss SMT ETH Zürich EPFL MIT Lincoln Lab CEA Fraunhofer Roche ABB Oerlikon Max-Planck RWTH Aachen Heidelberg Instruments Heidenhain PSI ams-OSRAM 清华大学 北京大学 中国科学院 华为 京东方

🌍 国际知名机构及企业

MIT Lincoln Laboratory 麻省理工林肯实验室 CEA-Leti 法国原子能委员会 ETH Zürich 苏黎世联邦理工 EPFL 洛桑联邦理工 Carl Zeiss SMT 蔡司半导体 Fraunhofer 弗劳恩霍夫研究所 Paul Scherrer Institut 瑞士国家实验室 Max-Planck 马普学会 RWTH Aachen 亚琛工大 KIT 卡尔斯鲁厄理工 F. Hoffmann-La Roche 罗氏制药 ABB 电力 ams-OSRAM 奥地利微电子 Heidelberg Instruments Oerlikon 欧瑞康 CNRS 法国国家科研中心 University of Southampton IQM Finland 量子计算 Heidenhain 海德汉 Schaeffler 舍弗勒

🇨🇳 中国客户

科研院所及高校

清华大学 北京大学 中国科学院(微电子所、半导体所、纳米所等) 上海交通大学 浙江大学 中国科学技术大学 华中科技大学 东南大学 南方科技大学 中山大学 厦门大学 北京理工大学 深圳大学 香港中文大学 香港理工大学 中电科13/24/29/49所 季华实验室 武汉光电国家研究中心

行业领军企业

华为海思 京东方 BOE TCL华星光电 CSOT 比亚迪半导体 舜宇光学 三安光电 伯恩光学 BIEL 水晶光电 光迅科技 Accelink 中国航天 CASC

以上仅列出部分代表性客户 | 如需了解更多,欢迎 联系我们

"您的系统运行得像瑞士钟表一样……可靠而踏实。非常感谢,它让我们的工作变得轻松许多。"
—— Brigitte Wieber,弗劳恩霍夫应用固体物理研究所 (IAF)
"我们和研究实验室的120多位用户,对SAWATEC设备的品质和可靠性非常满意。"
—— ETH Zürich 苏黎世联邦理工学院